Process liquid discharging pipe and substrate processing device

WO2019150716 Art A1 8. August 2019

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019150716
Aktenzeichen: EP18903697
Anmeldetag: 20. November 2018
Veröffentlichung: 8. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C08L83/04C08L83/10C08L101/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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