High-purity polycrystalline silicon sputtering target material, preparation method therefor and use thereof

WO2019153467 Art A1 15. August 2019

Anmelder: DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY, NEW ENERGY MATERIALS AND TECHNOLOGY INSTITUTE CO., QINGDAO BLUE LIGHT NEW MATERIAL CO., LTD. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019153467
Aktenzeichen: EP18904806
Anmeldetag: 30. März 2018
Veröffentlichung: 15. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C30B28/06C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
NEW ENERGY MATERIALS AND TECHNOLOGY INSTITUTE CO.
QINGDAO BLUE LIGHT NEW MATERIAL CO., LTD.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Dalian University of Technology

Die Dalian University of Technology ist eine chinesische staatliche Universität mit breitem naturwissenschaftlich-technischem Forschungsprofil. Das Portfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Fertigungsverfahren und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2004 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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