Deposition apparatus, method of coating a flexible substrate and flexible substrate having a coating

WO2019154490 Art A1 15. August 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019154490
Aktenzeichen: EP18703992
Anmeldetag: 7. Februar 2018
Veröffentlichung: 15. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C14/58C23C14/35C23C14/02C23C16/54C23C16/56C23C16/02H01J37/32H01J37/08H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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