System, device and method for reconditioning a substrate support

WO2019154630 Art A1 15. August 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019154630
Aktenzeichen: EP19701830
Anmeldetag: 24. Januar 2019
Veröffentlichung: 15. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B24B37/04B24B37/14H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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