Cleaning device

WO2019155540 Art A1 15. August 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION, HITACHI HIGH-TECH CANADA, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019155540
Aktenzeichen: EP18905129
Anmeldetag: 7. Februar 2018
Veröffentlichung: 15. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/16H01J1/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
HITACHI HIGH-TECH CANADA, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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