Oxide sputtering target and method for producing oxide sputtering target

WO2019155577 Art A1 15. August 2019

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019155577
Aktenzeichen
EP18904784
Anmeldetag
8. Februar 2018
Veröffentlichung
15. August 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34G11B7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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