Cleaning A Structure Surface in an Euv Chamber

WO2019158492 Art A1 22. August 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019158492
Aktenzeichen: EP19706918
Anmeldetag: 12. Februar 2019
Veröffentlichung: 22. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B08B5/00H05G2/00H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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