Optical delay device, inspection device, optical delay method and inspection method

WO2019159375 Art A1 22. August 2019

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019159375
Aktenzeichen: EP18906394
Anmeldetag: 19. Februar 2018
Veröffentlichung: 22. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/06G01N21/3586

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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