Water-repellent protective film-forming agent, water-repellent protective film-forming chemical solution, and wafer surface treatment method
WO2019159749
Art A1
22. August 2019
Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019159749
- Aktenzeichen
- EP19754418
- Anmeldetag
- 5. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 22. August 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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