Piezoelectric element-driven valve and flow volume control device

WO2019159959 Art A1 22. August 2019

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019159959
Aktenzeichen: EP19754760
Anmeldetag: 13. Februar 2019
Veröffentlichung: 22. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F16K49/00F16K31/02F16K37/00G05D7/06H01L41/083H01L41/09H02N2/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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