Method for preserving amorphous carbon film

WO2019160011 Art A1 22. August 2019

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019160011
Aktenzeichen: EP19753710
Anmeldetag: 14. Februar 2019
Veröffentlichung: 22. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C01B32/05A61L27/04A61L27/08A61L27/10A61L27/14A61L27/30A61L27/40A61L29/02A61L29/04A61L29/10A61L29/12A61L31/02A61L31/04A61L31/08A61L31/12C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Medizintechnik & Gesundheit Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von