Gas management system

WO2019160627 Art A1 22. August 2019

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019160627
Aktenzeichen: EP19754905
Anmeldetag: 10. Januar 2019
Veröffentlichung: 22. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/14H01S3/22H01S3/223H01S3/225G01N21/35G01N21/3504B01D53/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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