Deep learning for semantic segmentation of pattern
WO2019162204
Art A1
29. August 2019
Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019162204
- Aktenzeichen
- EP19705753
- Anmeldetag
- 15. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 29. August 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06N3/08G06N3/04G06K9/66G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML NETHERLANDS B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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