Laser system

WO2019163029 Art A1 29. August 2019

Anmelder: GIGAPHOTON INC., THE UNIVERSITY OF TOKYO 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019163029
Aktenzeichen: EP18906978
Anmeldetag: 21. Februar 2018
Veröffentlichung: 29. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
THE UNIVERSITY OF TOKYO
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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