Fine particle dispersion method, and deposition method and deposition device using same

WO2019163189 Art A1 29. August 2019

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSIT, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019163189
Aktenzeichen: EP18907045
Anmeldetag: 10. Oktober 2018
Veröffentlichung: 29. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B01J19/08B05B1/00B05D7/24

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSIT
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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