Method for forming magnetic film and method for producing magnetic storage element

WO2019163641 Art A1 29. August 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019163641
Aktenzeichen
EP19757362
Anmeldetag
14. Februar 2019
Veröffentlichung
29. August 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01F41/18H01F41/22H01L21/8239H01L27/105H01L43/08H01L43/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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