Composite sintered body, component of semiconductor manufacturing device and method for manufacturing composite sintered body

WO2019163710 Art A1 29. August 2019

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019163710
Aktenzeichen
EP19756819
Anmeldetag
18. Februar 2019
Veröffentlichung
29. August 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C04B35/117B25B11/00H01B3/12H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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