Electrostatic chuck device and method for producing electrostatic chuck device

WO2019163757 Art A1 29. August 2019

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019163757
Aktenzeichen: EP19758222
Anmeldetag: 19. Februar 2019
Veröffentlichung: 29. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/683H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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