Resist Underlayer Film Forming Composition That Contains Triaryldiamine-Containing Novolac Resin To Which Aromatic Vinyl Compound Is Added

WO2019163834 Art A1 29. August 2019

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019163834
Aktenzeichen: EP19757479
Anmeldetag: 20. Februar 2019
Veröffentlichung: 29. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11G03F7/20G03F7/26H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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