Apparatus and method for inspecting a surface of a sample, using a multi-beam charged particle column
WO2019164392
Art A1
29. August 2019
Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT, APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019164392
- Aktenzeichen
- EP19721155
- Anmeldetag
- 20. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 29. August 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/147H01J37/244H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
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