In Situ Electrical Properties Characterization System Towards Surface/interface Engineered Functional Devices

WO2019164454 Art A1 29. August 2019

Anmelder: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019164454
Aktenzeichen: EP19757890
Anmeldetag: 26. Februar 2019
Veröffentlichung: 29. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66C23C14/54C30B23/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 National University of Singapore

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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