Method for forming a coating on a substrate in a vacuum processing chamber, vacuum processing chamber and vacuum processing system

WO2019166103 Art A1 6. September 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019166103
Aktenzeichen: EP18708681
Anmeldetag: 2. März 2018
Veröffentlichung: 6. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12C23C14/24C23C14/56C23C26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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