Ion milling device and method for adjusting ion source of ion milling device

WO2019167165 Art A1 6. September 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019167165
Aktenzeichen: EP18907730
Anmeldetag: 28. Februar 2018
Veröffentlichung: 6. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H01J37/067H01J37/20H01J37/244H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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