Method for producing gallium nitride thin film

WO2019167715 Art A1 6. September 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019167715
Aktenzeichen: EP19761703
Anmeldetag: 19. Februar 2019
Veröffentlichung: 6. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/203C23C14/06C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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