Nanogap electrode, method for producing same and nanodevice having nanogap electrode

WO2019168123 Art A1 6. September 2019

Anmelder: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019168123
Aktenzeichen: EP19761622
Anmeldetag: 28. Februar 2019
Veröffentlichung: 6. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/10B82Y10/00B82Y40/00C23C18/42H01L21/28H01L21/288H01L21/8239H01L27/105H01L29/06H01L29/66H01L45/00H01L49/00

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Firma: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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