Anti-reflection optical substrates and methods of manufacture

WO2019170357 Art A1 12. September 2019

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019170357
Aktenzeichen: EP19703998
Anmeldetag: 7. Februar 2019
Veröffentlichung: 12. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B1/118

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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