Multi-beam inspection apparatus with improved detection performance of signal electrons

WO2019170421 Art A1 12. September 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019170421
Aktenzeichen: EP19708966
Anmeldetag: 21. Februar 2019
Veröffentlichung: 12. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/147H01J37/29

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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