Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Wafers

WO2019170881 Art A1 12. September 2019

Anmelder: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH, SPA SOFTWARE ENTWICKLUNGS GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019170881
Aktenzeichen: EP19713366
Anmeldetag: 8. März 2019
Veröffentlichung: 12. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
SPA SOFTWARE ENTWICKLUNGS GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 OSRAM Opto Semiconductors

Deutsches Unternehmen für optoelektronische Halbleiter mit Sitz in Regensburg, Tochtergesellschaft von OSRAM. Es entwickelt LEDs, Laserdioden und Sensoren für Beleuchtung, Automobil- und Consumer-Elektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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