Surface treatment composition, method for producing surface treatment composition, surface treatment method and method for producing semiconductor substrate

WO2019171790 Art A1 12. September 2019

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019171790
Aktenzeichen
EP19764900
Anmeldetag
21. Januar 2019
Veröffentlichung
12. September 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C11D7/22C11D17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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