Underlayer film forming composition for imprinting, curable composition for imprinting, and kit

WO2019172156 Art A1 12. September 2019

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019172156
Aktenzeichen: EP19763282
Anmeldetag: 4. März 2019
Veröffentlichung: 12. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B32B27/30C08F20/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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