Control system and method

WO2019174885 Art A1 19. September 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019174885
Aktenzeichen: EP19705769
Anmeldetag: 21. Februar 2019
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/13H01S3/134G03F7/20H01S3/097H01S3/104

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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