Charged-particle beam device and cross-sectional shape estimation program

WO2019176212 Art A1 19. September 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019176212
Aktenzeichen: EP18909975
Anmeldetag: 18. Dezember 2018
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22G01N23/2251G01N23/2255H01J37/05H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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