Partition Valve

WO2019176378 Art A1 19. September 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019176378
Aktenzeichen
EP19767032
Anmeldetag
5. Februar 2019
Veröffentlichung
19. September 2019
Rechtsraum
WO
IPC
F16K3/10F16K3/06F16K3/18F16K51/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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