Electrode pair calibration method

WO2019176411 Art A1 19. September 2019

Anmelder: OSAKA UNIVERSITY, SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019176411
Aktenzeichen: EP19768436
Anmeldetag: 12. Februar 2019
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: OSAKA UNIVERSITY
SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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