Polishing device

WO2019176413 Art A1 19. September 2019

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019176413
Aktenzeichen: EP19768573
Anmeldetag: 12. Februar 2019
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24B21/00B24B9/00B24B21/20H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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