Pad Conditioner Cut Rate Monitoring

WO2019177840 Art A1 19. September 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019177840
Aktenzeichen
EP19767358
Anmeldetag
6. März 2019
Veröffentlichung
19. September 2019
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/34B24B37/20B24B49/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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