Filtering during in-situ monitoring of polishing

WO2019177842 Art A1 19. September 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019177842
Aktenzeichen: EP19767581
Anmeldetag: 6. März 2019
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/3105H01L21/768H01L21/67B24B37/20B24B49/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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