Turbomolecular pump deposition control and particle management

WO2019178128 Art A1 19. September 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019178128
Aktenzeichen: EP19768273
Anmeldetag: 12. März 2019
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04F04D29/38F04D29/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von