Monitoring of vibrations during chemical mechanical polishing

WO2019178194 Art A1 19. September 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019178194
Aktenzeichen: EP19768620
Anmeldetag: 13. März 2019
Veröffentlichung: 19. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B37/24B24B37/26B24B49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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