Method for efficiently inspecting large area of microelectronic devices

WO2019179083 Art A1 26. September 2019

Anmelder: South China University of Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019179083
Aktenzeichen: EP18910313
Anmeldetag: 16. Oktober 2018
Veröffentlichung: 26. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/45

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: South China University of Technology
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 South China University of Technology

Chinesische Universität mit Sitz in Guangzhou, die als Anmelderin von Patenten aus ihrer technischen und naturwissenschaftlichen Forschung auftritt. Schwerpunkte liegen unter anderem in Materialwissenschaft und Maschinenbau.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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