Pattern measurement device and non-transitory computer readable medium having stored therein program for executing measurement

WO2019180760 Art A1 26. September 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019180760
Aktenzeichen
EP18910354
Anmeldetag
19. März 2018
Veröffentlichung
26. September 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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