Pitot-tube type flowmeter for substrate-treating apparatus, substrate-treating apparatus, and substrate treating method

WO2019181061 Art A1 26. September 2019

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019181061
Aktenzeichen: EP18910962
Anmeldetag: 13. November 2018
Veröffentlichung: 26. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306G01F1/46H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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