Processing liquid supply device, substrate processing device, and processing liquid supply method

WO2019181339 Art A1 26. September 2019

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD., KURITA WATER INDUSTRIES LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019181339
Aktenzeichen: EP19771633
Anmeldetag: 20. Februar 2019
Veröffentlichung: 26. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von