Ion Gun

WO2019182111 Art A1 26. September 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019182111
Aktenzeichen: EP19770594
Anmeldetag: 22. März 2019
Veröffentlichung: 26. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/14H01J37/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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