Apparatus for and method of controlling debris in an euv light source

WO2019185406 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019185406
Aktenzeichen: EP19714337
Anmeldetag: 20. März 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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