Method of producing rinsing liquid

WO2019185592 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: LAM RESEARCH AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019185592
Aktenzeichen: EP19715847
Anmeldetag: 26. März 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C02F1/461

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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