Laser gas management system, electron device manufacturing method, and excimer laser system control method

WO2019186651 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019186651
Aktenzeichen: EP18911462
Anmeldetag: 26. März 2018
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/036G03F7/20H01S3/00H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von