Scanning electron microscope and method for analyzing secondary electron spin polarization

WO2019186736 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019186736
Aktenzeichen: EP18912196
Anmeldetag: 27. März 2018
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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