Charged particle beam device

WO2019186936 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION, JAPAN FINE CERAMICS CENTER 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019186936
Aktenzeichen: EP18912711
Anmeldetag: 29. März 2018
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/09H01J37/147

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
JAPAN FINE CERAMICS CENTER
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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