Sample analysis method and sample introduction device

WO2019187408 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019187408
Aktenzeichen
EP18911938
Anmeldetag
20. Dezember 2018
Veröffentlichung
3. Oktober 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G01N27/62H01J49/04H01J49/10H05H1/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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